Информация об авторе
Filippov, M. N.
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 52, № 2 (2023) | ДИАГНОСТИКА | Измерения на РЭМ размеров рельефных структур в технологическом процессе производства микросхем |
| Выпуск | Раздел | Название | Файл |
| Том 52, № 2 (2023) | ДИАГНОСТИКА | Измерения на РЭМ размеров рельефных структур в технологическом процессе производства микросхем |